AMDS-氣控閥・回吸閥一體型

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以緊湊的結構確保滴液，可高精度控制回吸。可防止化學液體在晶圓上噴吐不良等現象。
可根據流體粘度優化定制設計。
氣控閥一體型產品，可削減配管工時並實現緊湊化。

行業 : 半導體製造工序（前工序）