PMP-先導式減壓閥

可通過先導空氣控制，使化學液體、純水供給部位的壓力變化趨於穩定的減壓閥。與電空減壓閥組合，可通過遠程操作變更設定壓力。

行業 : 半導體製造工序（前工序）